ECVD采纳盛美怪异全世界開創的“1個腔體3個卡盘”的設計,可以在统一平台上實現多種PECVD工藝,在中國及國際市場上具備竞争上風。2024年7月公司向一家逻辑客户交付了PECVD装備的Beta测試版。该装備的立异性将能很好處置多種PECVD工藝步调。估计2024年起頭将與代工、逻辑、存储等范畴的多家客户開展多项装備驗證,等待PECVD装備可以或许快速在中國及韩國客户端完成驗證,并快速進入國際市場。| 歡迎光臨 桃園清潔社達人交流論壇 (https://qts.koreagp.com.tw/) | Powered by Discuz! X3.3 |